燃燒法是使用高溫燃燒進程將有機廢氣轉換成CO2與H2O，根據廢氣的燃燒溫度可分為750攝氏度-850攝氏度的燃燒化與350攝氏度～450攝氏度觸媒焚化二類，因觸媒式易造成觸媒毒化，故很少選用這種辦法。吸附法是使用高孔隙率、高表面積的吸附劑，將廢氣中的有機氣體分子別離，而凈化有機廢氣。適用于集成電路產業的有機廢氣處理辦法有吸附法和燃燒法。
廢氣處理系統由高溫轉輪設備和活性炭吸附設備構成。有機廢氣經過預過濾器，除去塵埃顆粒，維護下游的設備；經過原氣體冷凝器，除去高沸點有機物甲基乙基酮MEA，維護高溫轉輪設備內的吸附劑；經過加熱器，加熱冷凝后的有機廢氣至30C左右，這樣可以進步有機物吸附率；接著通AC過濾器，再次過濾去除高沸點有機物。廢氣送風機將有機廢氣送人高溫轉輪設備進行吸附。
高溫轉輪分為前后二室，并裝有一個大轉盤，轉盤上裝有紙質活性炭過濾器。有機廢氣過濾和吸附后排人大氣中，吸附后的轉盤轉入另一室內，通入150。C左右的熱空氣進行解吸附，解吸附出來的濃縮氣體經過過濾器、冷凝器、加熱器、G—AC過濾器等設備，被濃縮氣體送風機送人顆粒活性炭吸附筒處理，吸附后排放于大氣中。
吸附筒的活性炭經過水蒸氣及壓縮空氣控制吸附桶上下擋板動作來完結解吸附，解吸附后的水蒸氣經冷凝后變成濃縮液回收。此流程設計的有機廢氣含異丙醇、醋酸丁脂、二甲基亞砜、苯類等，有機氣體濃度為65ppm，經高溫轉輪設備處理，均勻去除率可達90％以上，排放到大氣中的有機氣體濃度小于6．5ppm，濃縮氣體的體積約為原廢氣的1／15左右，濃度為原廢氣的12～13倍左右，活性碳吸附設備均勻去除率可達95％以上。實踐數據表明其非甲烷總烴排放濃度為1．55—90mg／m，排放速率為0．010～0．155kg／h，均能到達相應的排放標準。其運轉處理效果良好。
